IT天空

 找回密码
 加入我们

手机号码,快捷登录

搜索

[新资讯] 早年被EUV联盟孤立 台积电大佬讲述翻身内幕:靠沉浸式光刻崛起

[复制链接]
Lacy 发表于 2021-12-28 08:56:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

IT天空 定制版高速U盘 128G | 固态U盘 256G Pro/512G Pro


  这几年中,台积电一跃成为半导体制造行业的大哥,不仅是全球晶圆代工的绝对主力,而且先进工艺也超越了Intel、三星等对手,更是首发了EUV光刻工艺,明年还要量产3nm工艺。

  台积电的崛起过程也不是一帆风顺的,实际上还非常艰辛,因为20年前Intel等公司如日中天的时候,一度将台积电排除在先进工艺之外。

  前台积电研发副总林本坚日前提到了这段往事,他指出2002年左右,Intel拉拢摩托罗拉、AMD等公司成立了EUV LCC联盟,一起出钱出力研发EUV光刻设备,希望用于未来的60nm、40nm等工艺。

  当时台积电也希望参与EUV联盟,但是被排挤,因为只限于6家公司,最终IBM抢到最后一个位置,台积电无缘。

  虽然台积电没有加入EUV联盟,但是他们并没有灰心,转而研究了沉浸式光刻技术(光刻工艺与折射率相关,水中的折射率比空气要高,有利于提高光刻分辨率),最终实现了翻身,现在沉浸式光刻技术已经成为主流,ASML的先进光刻机都应用了该技术。

  林本坚指出,当年参与EUV联盟的半导体企业中,除了Intel,其他5家公司已经退出芯片制造了。

  PS:对于台积电来说,林本坚是台积电工艺翻身的大佬之一,他在IBM公司工作了22年,主要从事光刻技术研究,2000年被蒋尚义招募到台积电,2002年提出沉浸式光刻技术,带领台积电在芯片制造上翻身,奠定了今日的基础,功不可没。

  s_78d73ab6f9274210af31e0b5c2b093e3.jpg













最近访问 头像模式 列表模式
sx20086 发表于 2021-12-28 17:31:17 | 显示全部楼层

活跃 6001| 技术 0| 互助 0| 钻石 0

中流砥柱
您需要登录后才可以回帖 登录 | 加入我们

本版积分规则

Lacy

65700

活跃

2

技术

9

互助
签到任务
最火的业界新闻
  • 明年才是重头戏!曝iPhone 15系列将取消实
  • 业内人士:感谢竞争 今年第二代骁龙8、天玑
  • PC搅局者来了!Arm杀入:剑指英特尔AMD
  • Intel也玩弯道超车:EUV工艺生产量子芯片
  • “4nm、3nm”EUV工艺来了 Intel最先进晶圆
  • 高通骁龙8 Gen2本周发!网友:王者芯片归来
  • 天玑8200杀疯!冲击高频率 碾压二代骁龙7
  • 英特尔i7-13700H移动处理器现身:性能惊喜
  • RTX 4080明日发售 AMD摊牌了!晒RX 7900 XT
  • 偷师锐龙 远超锐龙:AMD RDNA3显卡的小芯片
炫酷的硬件Show
  • MARK 1 - 设计型 PC 与垂直风道
  • 好的大王,没问题大王
  • 振华SUPER FLOWER 铜皇450W 铜牌电源
  • 比小更小,Mini-STX装机
  • 华擎X99E-ITX + 银欣ML06 装机记
  • 最强双路泰坦硬管水冷 制作流程
  • 银欣FT02,双路E5工作站
  • 迟到的定制机箱小钢炮清理灰尘
  • 乔思伯UMX1 Plus,小巧的家用综合主机
  • 分体水冷第二弹-Inwin 805 infinity
有趣的美图分享
  • 电池行业这方面没了你不行
  • 经常被性急的破门而入
  • 奶奶:狗子头七还魂了这是?
  • 你写的取鲁大学,关我耶鲁大学什么事
  • 学校有心了, 喝凉水还放海带
关注官方微信
快速回复 返回顶部 返回列表